氮气柜是一种密封性良好的柜体,利用外部氮气气源充入柜内,置换出柜内原有的空气,让氮气柜箱体内部处于一个氮气气体的氛围,快速有效的降低柜内的湿度及氧含量,专业用来存储各类湿敏元器件及集成电路,防止其被潮气侵蚀而损坏器件的功能。氮气柜在半导体行业中的应用非常广泛,主要用来存储晶圆片。三清仪器氮气柜相比普通的直充氮气的氮气柜有着明显的优势,可大大的节约氮气的消耗量,降低使用成本。氮气柜的工作原理是空气置换。利用一个封闭的柜体,通过外接气源把氮气冲入箱内,把箱内原先的空气置换出去,使箱内的环境处于一个氮气的氛围中。迅速的把箱内的水汽,氧气全部置换出去。氮气柜工作有一个误区,很多人都会想到氮气柜的箱内压力问题。其实氮气柜不是一个压力容器,向内外的压力基本相似,内外都处于一个大气压的环境中。存放在氮气柜内的物料可以有效的防止氧化,受潮。

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产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜