氮气柜是需要外接氮气气源来工作的,使用氮气来有效的降低智能氮气柜箱体内部的湿度值和氧含量值。常用于存放半导体晶圆片Wafer,太阳能电池片等,有效防止其亲水性和亲氧性的氧化现象。而氮气柜使用的气源包括氮气气瓶,氮气管道或小型制氮机。三清仪器制氮机分为两种型号,一种为需要接入压缩空气和电源来产生氮气,而第二中则是直接接通电源即可产生氮气,满足氮气柜的日常使用。三清仪器智能氮气柜支持用户各类非标订制,包括产品的尺寸,氮气柜隔板的设计及各类非标功能,如湿度超标报警,选择SUS304不锈钢材质,预防箱门未关好报警,箱体内部安装感应灯或加装USB数据接口和485网络通讯等功能。

SANQINGYIQIJIEYUEXINGDANQIJUDEKONGDANZHUJICAIYONGJINSHUWAIQIAO(SUS304BUXIUGANGCAIZHI)ZHIZUO,BIAOMIANJINGDIANPENSU。NEIZHIJINKOUSMCDIANCIFA,XINGNENGWENDINGKEKAO,BUSHOUWAIJIEGANRAO。CAIYONGZIDONGCHENGKONGGANYINGXITONG,DANGXIANGNEIDESHIDUDADAOSHEDINGZHISHI,XITONGHUIZIDONGQIEDUANDANQIGONGYING;DANGXIANGNEIDESHIDUCHAOGUOSHEDINGZHISHI,XITONGHUIZIDONGDAKAIDANQIGONGYINGLAIJIANGDIXIANGTINEIDESHIDUHEYANGHANLIANG。DUODIANJUNYUNSHIGONGQIXITONG,FANGZHIQITIGUOCHONGJICUNFANGDEWULIAODAILAIPOHUAIXINGDEYINGXIANGJIQUEBAOXIANGTINEIDEDANQIJUNYUNXING,XIANGNEIWUDANQISIJIAO,FANGZHIWULIAOSHOUCHAOYANGHUA,GENGHAODEBAOHUCUNFANGDEWULIAO。WENSHIDUSHUANGQUCHAOGAOLIANGDULIXIANSHI。SHIDUSHEDINGSHUZHIJUYOUJIYIGONGNENG,DUANDIANHOUWUXUZHONGXINSHEDING。WENSHIDUCHUANGANQICAIYONGYUANZHUANGJINKOUPINPAIHoneyWell,SHUJUJINGZHUN,LINGMIN,ZHANGSHIJIANSHIYONGSHUZHIPIANYIZHIXIAO。WENDUXIANSHIFANWEI:-9℃ ~ 99℃,XIANSHIJINGDU:±1℃。SHIDUXIANSHIFANWEI:1%RH ~ 99%RH,XIANSHIJINGDU:±3%RH。DANQIJUWENSHIDUGUANLIJILUGONGNENG,SHISHIJIANKONGDANQIJUNEIWENSHIDUBIANHUA,SHIYONGXIANGGUANRUANJIANHOU,KEZHICHIZAIDIANNAOJIEMIANSHISHIXIANSHIWENSHIDUQUXIANTUJIBAOCUNDAYINLISHIJILUSHUJU。DANQIJUFUHEJ-STD-033BGUIFANDUISHIMINYUANJIAN(MSD)CHUCUNDEYAOQIU。

产品容积 内径尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板数量 开门方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 单开门
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 单开门
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下双开门
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右双开门
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右双开门
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下双开门
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三开门
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四开门
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四开门 / 六开门
湿度范围 1% - 60% RH 可调节 显示精度 温度:±1℃ 湿度:±3%RH
进气压力 0.2 - 0.4 MPa 节氮模组 多点供气系统,SMC节氮模组

氮气柜